Robotphoenix Wafer handling (kezelő) robotok – nagy pontosságú Lobster széria félvezető gyártáshoz

A Robotphoenix Lobster sorozatú wafer handling robotjai kifejezetten félvezető waferek, üveg- és speciális hordozók nagy pontosságú mozgatására készültek tisztatéri és vákuumos környezetben. A sorozat egykaros és kétkaros modelleket kínál 300 mm-es waferekhez, amelyek akár ±0,1 mm újrapozicionálási pontosságot és egészen ISO Class 1 / Class 100 tisztatéri megfelelést biztosítanak. Az atmoszferikus kivitelű Lobster200Z300S-T0X5-C és a kétkaros Lobster185Z340D-T2X0-C gyors wafer átrakást tesz lehetővé, míg a Lobster200Z300S-T0X5-V vákuum-kompatibilis modell vákuumkamrákba integrálható.

A wafer robotok merev, kompakt felépítéssel, direkt hajtással, nagy sebességű Z/T/R tengelymozgásokkal és fejlett mapping szenzorral rendelkeznek, amely érzékeli, hogy a wafer jelen van-e, nincs-e egymáson fekvés vagy megdőlés. A szabványos I/O, Ethernet, USB és soros interfészek megkönnyítik a gyártóberendezésekhez, FOUP-kezelőkhöz és felsőszintű MES rendszerekhez való csatlakozást. A Lobster széria ideális választás félvezető, elektronikai, fotovoltaikus, optoelektronikai, MEMS és orvostechnikai gyártósorokon, ahol a stabil, ismételhető waferkezelés közvetlen hatással van a kihozatalra és a folyamatminőségre.